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2021年全球TOP 15 MEMS代工厂

1. Silex Microsystems AB

2021 年 MEMS 代工销售额：1.26 亿美元

2020 年 MEMS 代工销售额：1 亿美元

MEMS代工销售额增长：+20%

排名上升：0

Silex Microsystems AB 位于瑞典 Jarfalla，是一家纯 MEMS 晶圆代工厂，2021 年以 20% 的销售额增长排名第一。这是 Silex 继 2019 年和 2020 年之后连续第三年位居全球第一。

Silex现为中国赛维电子旗下子公司。 2015年7月13日，赛威电子（当时的耐威科技）通过其香港投资控股公司GAE Ltd.收购Silex 98%的股份，Silex的大股东：CapMan、Priveq、Northzone和Startupfactory同意出售其持有的全部股份，Silex正式成为中国民营企业控股的MEMS半导体公司。

赛微电子在收购Silex控股权后，在北京建设8英寸MEMS生产线（北京FAB3），扩大公司产能。 2021年6月，北京FAB3一期建成投产。 目前月产能在5000片左右，产能还在爬坡阶段。 FAB3 的第二和第三阶段正在进行中。

Silex的优势在于采用了自家的硅通孔（TSV）技术。 Silex 还使用锆钛酸铅作为压电材料，用于能量收集等新应用。

消息显示，赛维电子于2022年1月1日与合肥高新区管委会签署《合作框架协议》，拟在合肥高新区投资建设12英寸MEMS生产线项目，总投资51亿元。 一条设计产能为2万片/月的12英寸MEMS生产线，预计达产后可实现年收入约30亿元。 它将成为国内规模较大的12英寸MEMS生产线之一。

2. Teledyne 微机电系统

2021 年 MEMS 代工销售额：1 亿美元

2020 年 MEMS 代工销售额：8400 万美元

MEMS代工销售额增长：+20%

排名上升：0

Teledyne MEMS，即Teledyne DALSA，目前是全球第二大纯MEMS晶圆代工厂，2021年销售额增长20%，此前一直是全球TOP1，2019年被Silex超越，Silex受益匪浅来自赛微电子收购的中国市场，其MEMS晶圆代工份额有所提升。

Teledyne DALSA，前身为DALSA Corporation，是一家专业从事专业电子影像元器件（图像传感器、相机、图像采集卡、影像软件）设计制造和专业半导体制造（MEMS、高压ASIC）的加拿大公司。 Teledyne DALSA 隶属于 Teledyne Imaging 集团，后者是 Teledyne 的成像业务。

3、台积电（TSMC）

2021 年 MEMS 代工销售额：8700 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：6300 万美元

MEMS代工销售额增长：+38%

排名上升：+1

台积电（TSMC）是全球最大的晶圆代工厂。 台积电不仅是全球第一大晶圆代工企业，其MEMS代工业务也位居全球前三。 MEMS代工销售额超过图像传感器巨头索尼。 2021年，台积电旗下MEMS业务成长38%。

台积电拥有全球最先进的MEMS制程技术。 2011年推出全球首创传感器SoC制程技术。 该技术集成了台积电的 CMOS 和晶圆堆叠技术来制造单片 MEMS。

台积电传感器SoC技术制程范围从0.5μm到0.11μm，支持G-Sensors、陀螺仪、MEMS麦克风、压力计、微流体和生物基因芯片等应用。

台积电于 2017 年建立压电技术中试线不锈钢压力表生产商，以帮助客户设计和开发用于医疗和健康应用的微型扬声器、麦克风、超声波传感器和各种类型的执行器。 压电技术是MEMS的一个极具发展潜力的新领域。 新的压电薄膜材料经过预先表征，因此客户可以专注于产品设计和架构，以优化上市时间。

4. X工厂

2021 年 MEMS 代工销售额：6600 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：4400 万美元

MEMS代工销售额增长：+48%

排名上升：+1

X-Fab是一家总部位于爱尔福特的德国公司，主要生产模拟和混合信号集成电路，以及用于高压应用的MEMS解决方案。 德国是世界上最大的传感器强国之一。 德国博世（BOSCH）是全球最大的两大MEMS巨头之一。 凭借其出色的市场，X-Fab已成为全球前四的MEMS晶圆代工厂。 2021年，X-Fab的MEMS业务增长了48%。

2011 年，X-FAB 集团收购了位于德国 Itzehoe 的 MEMS 制造商 GmbH 的股份，该公司是弗劳恩霍夫硅技术研究所 (ISIT) 的子公司。 这成为 X-FAB 在 Itzehoe 的专用 MEMS 代工厂。

5.索尼

2021 年 MEMS 代工销售额：6300 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：6300 万美元

MEMS 代工销售额增长：0%

排名上升：-2

SONY 索尼是世界上最著名的消费电子巨头之一。 它是全球图像传感器巨头。 由于消费电子产品表现不佳，索尼的MEMS业务在过去一年没有增长，因此被台积电和X-FAB超越。

凭借其在制造 MEMS 和半导体技术加工方面的丰富经验，Sony Semiconductor Manufacturing Corporation 提供广泛的 MEMS 代工服务，包括晶圆工艺开发（开发、工程样品、小批量到大批量生产）、可用工艺和批量工艺（包括SOI）、表面技术、半导体技术、MEMS生产线位于日本鹿儿岛。

6.原子 (IMT)

2021 年 MEMS 代工销售额：3000 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：2400 万美元

MEMS代工销售额增长：+25%

排名上升：+1

Atomica前身为IMT（Innovative Micro Technology），成立于2000年1月，2021年5月更名为Atomica，专业生产MEMS（微机电系统）器件，是目前最大的纯MEMS代工厂在美国，2021 年的增长率为 25%。

IMT的全自动MEMS生产厂房可满足客户6英寸和8英寸的批量需求。 与 CMOS 晶圆厂不同，优势在于金属、聚合物和其他材料的灵活性，以及​​在硅、SOI、玻璃（熔融石英、石英、硼硅酸盐）和 III-V 衬底方面的经验。

7.亚太微系统

2021 年 MEMS 代工销售额：3000 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：3000 万美元

MEMS 代工销售额增长：0%

排名上升：-1

ASIA PACIFIC MICROSYSTEMS (APM) 成立于 2001 年，是全球主要的 MEMS 组件开发商和制造商。 早期，APM作为MEMS器件的集成器件制造商运营，特别注重压力传感器和光学元件的产品开发。 几十年来，APM 在开发各种 MEMS 设备（包括传感器、执行器和微型组件）方面积累了丰富的经验。 APM的MEMS业务在2021年将没有增长。

自 2007 年以来，凭借其在 MEMS 方面的生产和专业知识，以及丰富的经验，公司的业务重心已转移到纯 MEMS 代工厂，通过扩大更先进的 MEMS 组件的开发来发展业务。 APM 目前拥有一个 6 英寸晶圆厂，拥有专用的微加工工具以及完整的 MEMS 加工能力。

8. VIS-Vanguard（世界先进）

2021 年 MEMS 代工销售额：2500 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：2200 万美元

MEMS代工销售额增长：+12%

排名上升：+1

VIS（World Advanced Integrated Circuit）是台湾TOP晶圆代工厂之一。 2019年，World Advanced以2.36亿美元的价格收购了Globalfoundries的新加坡8英寸工厂，包括厂房、厂房设施、机器设备、MEMS IP等。 目前工厂月产能约为3.5万片8英寸晶圆。 工厂的核心业务是MEMS代工。 因此，世界先进取代了GF的全球MEMS市场份额。 2021年，全球先进MEMS也将实现12%的增长率，超越飞利浦。

9. 飞利浦创新服务

2021 年 MEMS 代工销售额：2400 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：2300 万美元

MEMS代工销售额增长：+2%

排名上升：-1

飞利浦是全球电子巨头，飞利浦创新服务（Philips Innovation Services）是其中的一部分，在荷兰埃因霍温经营一家MEMS代工厂。

飞利浦虽然早年拆分了半导体业务，但独立成立恩智浦半导体（NXP），随后退出半导体制造行业。 不过，飞利浦仍保留着荷兰埃因霍温的晶圆代工，因此MEMS代工市场份额属于飞利浦而非恩智浦。

然后，晶圆厂用于在内部和外部提供 MEMS 和微装配服务。 在 2,650 平方米的无尘室中雇用了约 140 人，其中约 70 人从事 MEMS 工作，70 人从事微组装工作。 该团队可以协助 MEMS 工艺开发以及 MEMS 制造和原型制作。

飞利浦的 MEMS 代工厂能够加工从 Ag 到 Zn 的材料，包括 CMOS 禁用材料、合金、电介质和聚合物（如 Parylene），并可以将它们放置在包括硅、化合物半导体和玻璃在内的各种基板上。

该工厂可以生产各种类型的 MEMS 设备，并且在生产用于印刷和医疗电子应用的微流体设备方面有着特别出色的记录。 该集团还提供各种晶圆键合技术，包括专有键合技术、MEMS-last CMOS 晶圆集成以及微组装和 MEMS 设备测试等后端工艺。

10.塔式半导体

2021 年 MEMS 代工销售额：2000 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：2000 万美元

MEMS代工销售额增长：+2%

排名上升：0

Tower Jazz（高塔半导体）于1993年成立于以色列，成立后先后收购了美国国家半导体、美光、美信等公司的晶圆厂，以及晶圆代工厂商Jazz Semiconductor。 2022年被英特尔收购。收购。 Hightower Semiconductor是以色列最大的晶圆代工厂，也是全球主要的晶圆代工厂之一。

Tower SEMI 提供大批量 MEMS 制造解决方案，支持高端加速度计、陀螺仪、振荡器、电源管理控制器、音频传感器和执行器、RF MEMS 调谐器、红外像素阵列传感器和驱动器等应用。

Tower SEMI 在其遍布全球的 6 英寸、8 英寸和 12 英寸制造工厂中拥有超过 15 年的大批量 MEMS 制造能力，将新技术从构思转化为大规模生产。

11.博世

2021 年 MEMS 代工销售额：2000 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：600 万美元

MEMS代工销售额增长：+117%

排名上升：+4

BOSCH（博世）是德国半导体和电子巨头，与美国Broadcom并称为全球MEMS两大巨头。 近年来，随着博世传感器业务的蓬勃发展，博世逐渐成为全球第一的MEMS传感器企业，将博通甩在身后。

博世的MEMS代工销售全部来自自身的MEMS传感器需求，是典型的IDM厂商。 2021年博世MEMS代工业务将增长117%！ 所有 MEMS 晶圆厂中发展最快的公司。 所有博世 MEMS 传感器均在德国罗伊特林根制造。 制造过程需要三个多月，涉及数百个步骤。

12. 联电

2021 年 MEMS 代工销售额：1800 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：1500 万美元

MEMS代工销售额增长：+18%

排名上升：-1

UMC（United Microelectronics）成立于1980年，是台湾主要晶圆代工厂之一。 联电大部分12英寸和8英寸晶圆厂和研发中心都位于台湾，还有几家晶圆厂位于亚洲其他地区。 联电目前拥有12座晶圆厂，合计月产能约80万片晶圆，主要为8吋成熟制程晶圆。

联华电子的MEMS代工产线主要为8吋晶圆线，包括麦克风、惯性传感器、压力传感器及环境传感器（温湿度传感器、气体传感器）等MEMS产品，已出货超过数十万片晶圆。

13.意法半导体

2021 年 MEMS 代工销售额：1600 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：1300 万美元

MEMS代工销售额增长：+19%

排名上升：-1

意法半导体（STMicroelectronics，ST）是一家国际IDM公司，总部位于瑞士日内瓦。 意法半导体也是全球传感器巨头，全球排名前4的MEMS传感器厂商，其MEMS代工销售主要来自自身传感器业务的需求。

14. 罗姆

2021 年 MEMS 代工销售额：900 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：800 万美元

MEMS代工销售额增长：+15%

排名上升：-1

ROHM（罗姆）是世界著名的半导体和传感器制造商，专门从事使用薄膜压电元件的MEMS工艺。 基于其子公司 LAPIS Semiconductor Miyazaki 建立的制造工艺，它可以提供针对各种市场和应用优化的压电 MEMS。 .

ROHM 利用薄膜压电元件的 MEMS 工艺提供的主要优势包括： 在集成生产系统中进行高质量和灵活的产品制造和控制； 使用6英寸和8英寸晶圆； 全天候运行以加速开发，同时实现早期生产启动。

15.Semefab

2021 年 MEMS 代工销售额：800 万美元

2020 年 MEMS 代工销售额：700 万美元

MEMS代工销售额增长：+8%

排名上升：+1

Semefab 于 1986 年在英国苏格兰成立。 它最初是一家无晶圆厂芯片设计公司，后来拥有自己的晶圆生产线。 目前，MEMS代工是Semefab最大的业务板块。

Semefab 制造范围广泛的 MEMS 传感器，并为全球许多 OEM 提供代工服务。 产品包括气体流量传感器，基于质量流量原理的定制技术，在膜上带有微型加热器和温度传感器； 气体浓度传感器，使用定制技术根据特定气体实现电阻变化； 应变片，采用特殊材料压电效应定制技术。 此外，还有液体粘度传感器和血液分析传感器。

Semefab拥有一系列专有技术，如Micro Hot Plate，可打造适用于气相光谱分析的宽带红外（IR）光源； 睡眠呼吸暂停等

结语

中国传感器技术卡的地方很多，但最致命、最厉害的还是传感器芯片。

除了被赛微电子收购的瑞典Silex，这家公司跻身全球MEMS晶圆代工厂前1，目前还没有其他中国MEMS厂商进入。 国内知名MEMS巨头如唯尔、歌尔、瑞声等多为Fabless企业。

然而，中国企业通过收购国外半导体巨头一举掌握先进半导体技术的野心也遭到了欧美和日本政府的阻挠。 瑞典政府拒绝Final Microelectronics子公司Silex的出口许可申请，是前车之鉴。

中国的传感器和半导体之路充满艰辛不锈钢压力表生产商，仍需积累和突破。

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