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2022年10月25日，中国上海——全球领先的光学解决方案提供商Ocean Insight将参加第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备及核心元器件展览会（CSEAC）。 展位号B3-117，海洋光学展示了改进半导体制造工艺的最新光谱解决方案。 “凝聚核心力量，发展核心装备”是本次大会的主题。 产业升级是国家的大方向。 中国半导体产业正在加速发展。 海洋光学利用在光谱技术领域的多年积累，解决创新过程中遇到的问题，与行业伙伴一起推动创新发展。

光纤光谱仪以其快速、无损、原位测量等特点在半导体行业广受青睐。 作为世界上第一台微型光纤光谱仪的发明者，海洋光学多年来在半导体领域也积累了丰富的经验。 其光学解决方案用于蚀刻终点监测、透明/半透膜厚度检测、椭圆检测等。

海洋光学光谱仪产品不断推陈出新，为客户提供各种更丰富易用的工具助力创新。 大洋光学中国区销售总裁孙玲博士表示：“光谱仪是核心器件，大洋光学是光谱行业的‘乐高积木’。我们将自己定位为科学仪器创新的奠基者，我们为客户提供拥有包罗万象的工具箱，客户提供一整套用于制作创新仪器的工具模块，客户可以利用这个工具箱在半导体领域进行自己的开发，实现自己的创新想法。

蚀刻终点监测：等离子检测系统

在半导体工业中，晶片是使用光刻技术制造和处理的。 蚀刻是主要部分。 在晶圆表面进行蚀刻时，等离子体监测可用于跟踪蚀刻穿过晶圆各层的程度，并确定等离子体何时完全蚀刻特定层并到达下一层。 通过监测蚀刻过程中等离子体产生的发射光谱，可以准确跟踪蚀刻过程。 这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺生产半导体材料至关重要。

等离子体监测可以通过基于 Ocean HDX 光谱仪的灵活模块化设置来完成，用于监测引入不同气体和纳米粒子后氩等离子体发射光谱的变化。 测量是在一个封闭的反应室中进行的，使用光纤和耦合到光谱仪的余弦校正器，并通过反应室中的一个小窗口进行观察。 测量结果表明，模块化分光组件可以实时获取等离子体发射光谱。 通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体的反应过程。

Ocean HDX采用高清光学系统，具有高吞吐量和高热稳定性，支持USB、千兆以太网、Wi-Fi、AP Wi-Fi、RS-232等多种通信方式。 内置板载缓存数据处理模块，提高数据分析速度，保证数据完整性。

薄膜厚度检测：晶圆薄膜厚度测量系统

半导体集成电路的生产以几十到上百次的镀膜、光刻、刻蚀、除膜、平坦化为主要工序。 膜层的厚度和均匀性直接影响芯片的质量和产量。 连续检测以控制膜层厚度。 光学膜厚仪是半导体生产过程中必不可少的设备之一，用于检测芯片晶圆及相关半导体材料的镀层厚度。

海洋光学膜厚测量系统配备有取样平台、反射探头等，基于光波的干涉现象，将光束照射在薄膜表面。 由于入射介质、薄膜材料和基板材料具有不同的折射率值和消光系数值，光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉从而达到形成干涉光。 这些不同相位的干涉光的强度会随着薄膜的厚度而变化。 可以通过检测干涉光结合适当的光学模型来计算薄膜的厚度。

QE Pro 是一款适用于低光应用的高灵敏度、高性能光谱仪。 QE Pro 薄型背照式 CCD 检测器具有高量子效率，其坚固的设计提供了高信噪比性能和稳定性。 可以通过选择内部快门来优化暗噪声的测量。

解决问题是海洋光学的使命。 Ocean Optics 创始人 Mike Morris 说：“我们是问题解决者； 没有需要解决的问题，就没有海洋光学。”

孙玲博士对此深有感触：“在一些新的应用领域，总有不尽如人意的地方，这时候就需要做新的产品，要求我们的工具不断提高精度、强度、温度一致性、Inter -阶段性差异、一致性等。这些都是海洋光学最擅长的，因为我们专注于光谱领域30年光纤光谱仪的优缺点?，有了扎实的基础和积累光纤光谱仪的优缺点?，我们创造的工具是用来解决实际问题的。”

关于海洋光学

Ocean Insight，全球第一台微型光谱仪的发明者，是全球领先的光学解决方案提供商，应用于半导体、照明与显示、工业控制、环境监测、生命科学生物学、医学研究、教育等领域。 其产品包括光谱仪、化学传感器、测量和检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者，海洋光学已在全球销售超过400,000套光纤光谱仪。 30年来，海洋光学专注于光谱技术和设备的不断创新。 海洋光学也从频谱产品制造商转型为频谱解决方案提供商。 定制化解决方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。

关于爱华科技

爱华科技致力于提供光谱分析仪器销售、租赁、维护、方案定制、软件开发等全链条一站式精准服务。 作为大洋光学的授权合作伙伴，爱华科技与大洋光学携手合作，帮助客户面对问题，探索未来问题，努力打造量身定制的光谱解决方案。