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X射线荧光光谱仪以其分析速度快、精度高等优点而得到广泛应用。 X射线荧光光谱仪是一种常用的分析仪器，主要由激发源和检测系统组成。

X射线荧光光谱仪的原理是X射线管激发被测样品，产生入射X射线（一次X射线）。 激发样品中的每一种元素都会发射出二次X射线（也称为X射线荧光），不同元素发射的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。 检测系统测量这些发射的二次 X 射线的能量和数量或波长。 然后，仪器软件将检测系统采集到的信息转化为样品中各种元素的种类和含量。 元素原子受高能辐射激发，引起内层电子跃迁，同时发射出具有一定特定波长的X射线。 因此，只要测出荧光X射线的波长或能量，就可以知道元素的种类。 这是荧光。 X 射线定性分析基础。 另外，荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此可以对元素进行定量分析。 当用X射线照射样品时，样品可以被激发以发射各种波长的荧光X射线。 需要将混合的X射线按波长（或能量）分离，并测量不同波长（或能量）的X射线的强度。 对于定性和定量分析，用于此目的的仪器称为 X 射线荧光光谱仪。 由于X射线荧光具有一定的波长和能量，所以X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。

X射线荧光光谱仪的工作原理

当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子碰撞时，一个内层电子被排出，出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态，激发态原子的寿命约为(10 )-12-(10)-14s，然后自发地从高能态跃迁到低能态。

这个过程称为松弛过程。 弛豫过程可以是非辐射跃迁或辐射跃迁。 当外壳中的电子跃迁到空穴时，释放的能量随后被原子内部吸收并从外壳中排出。 另一种二次光电子，这个叫俄歇效应，也叫二次光电效应或非辐射效应，放出的二次光电子叫俄歇电子。 它的能量是特征性的，与入射辐射的能量无关

.当外层电子跃入内层空穴时，释放的能量并没有被原子吸收，而是以辐射的形式释放出来，产生X射线荧光，其能量等于两种能量的能量差水平。 因此，X射线荧光的能量或波长具有特征性，与元素存在一一对应关系。 K层电子被驱逐后，空穴可以被外层的任何电子填补，从而产生一系列光谱。从L层辐射到K层的X射线称为K射线，并且从M层辐射到K层的X射线称为K射线。

类似地，L层电子被排出以产生L系统辐射。 如果入射的X射线将一种元素的K层电子激发成光电子光纤光谱仪 工作原理，然后L层电子跃迁到K层，此时释放能量E，E=EK-EL，这个能量释放以X射线的形式光纤光谱仪 工作原理，产生K射线，也可以产生K射线、L系列射线等。HGMoseley发现，荧光X射线的波长与元素的原子序数Z有关，它的数学关系如下： =K(Zs)-2 这就是莫斯利定律，其中K和S是常数，所以只要测量荧光X射线的波长，就可以知道元素的种类，即荧光 X 射线定性分析的基础。 此外，荧光X射线的强度与相应元素的含量也有一定的关系。 以此为基础，可以进行元素的定量分析。