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我们先介绍光的干涉。 由于光的涨落特性，当几列光波在空间相遇时，相互叠加或抵消，引起光强的重新分布，总是有的地方强，有的地方弱，从而出现明暗相间的现象。条纹。 这种现象称为光的干涉。

干涉效应的产生必须满足三个条件：叠加光波的频率相同、振动方向相同、相位差恒定。

杨氏双缝干涉实验

让我们来回顾一下物理学史上著名的光学实验——杨氏双缝干涉实验。 单色光源从小孔S进入，从小孔S出来，穿过两个对称的小孔S1和S2。 S1和S2发出的两列光波源自同一光波，频率相同，振动方向相同，相位差恒定。 因此，它们是相干光波光纤光谱仪原理，以d'的距离叠加在屏幕上，形成明暗干涉条纹。

使用光纤光谱仪测量薄膜厚度

上图是使用Ocean Optics光纤光谱仪通过干涉效应测量膜厚的示意图。 当一束光以θ1入射到薄膜表面时，一部分光被直接反射，另一部分光以θ2进入薄膜并发生折射。 光1和反射光2是相干光，相互干涉。 光纤光谱仪测量薄膜厚度的原理主要是通过反射光谱，反射光谱曲线中出现干涉峰是薄膜干涉的结果。

在薄膜干涉试验中，入射光的波长、介质的折射率、薄膜厚度之间的关系如下：

当采用垂直入射法(θ1→0,θ2→0)时光纤光谱仪原理，上式可简化为：

若已知k的具体值，则可根据干涉峰位置计算出膜厚d。 但由于各干扰波峰谷对应的k值难以确定，且不同厚度的薄膜k值也不相同，因此通常采用消去k值的方法计算厚度d电影。

不同厚度薄膜的反射光谱

假设反射光谱上有两个相邻的波峰λ1和波谷λ2，结合这两个方程就可以得到膜厚d。

在实际测量中，可以从反射光谱中得到多组波峰和波谷对应的波长，并计算出多个膜厚的值，然后取平均值，以减少测量误差。

光纤光谱仪测量薄膜厚度的优势

- 采样数据采集速度快，适合在线实时测量。

- 无样品损失的非接触式光学测量。

-系统体积小，重量轻，测量灵活，USB连接，即插即用。

-可根据要求定制不同波段的光谱仪。

-可测量多层薄膜厚度。