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金刚石膜有很多优点。 它不仅具有金刚石的硬度，而且具有良好的导热性、从紫外到红外线的良好光学透明度和较高的化学稳定性。 在半导体、光学、航空航天工业和大规模集成电路等领域具有广阔的应用前景。 迄今为止，它在硬质切削工具、X射线窗口材料、贵重软物质的防护涂层等应用中具有优异的性能。

随着金刚石薄膜的研发需求和生产规模不断增长，是否有可靠的表征方法？

当然有！

拉曼光谱用于碳材料的分析已有40多年的历史，到今天已经形成了许多比较完备的理论。 对于不同形态的碳材料，如金刚石、石墨、富勒烯等，它们的拉曼光谱特征线有明显差异。

此外，拉曼光谱测试是无损的，对样品没有太多要求光纤光谱仪可以测单波长，不需要预处理，可以直接检测片状、固体、微粉、薄膜等多种形态的样品。

金刚石薄膜的应力值是一个非常重要的质量指标。 金刚石薄膜和基底之间的热膨胀差异光纤光谱仪可以测单波长，以及晶格失配、晶界键合和薄膜生长过程中键合变化等其他影响，都会导致生长薄膜中的残余应力。 典型的可见光激光激发的拉曼光谱包含金刚石薄膜在1000-2000cm-1处的应力信息。 对于较小的应力，拉曼光谱表现为偏离本征频率的单峰，并且光谱峰变宽。 在高达 140 GPa 的压力下，拉曼位移甚至可以移动到 1650 cm-1，同时线宽增加 2 cm-1。

下图是安东帕的Cora5001拉曼光谱仪检测到的无意掺杂金刚石薄膜的典型拉曼光谱。

Cora 5001系列拉曼光谱仪在金刚石材料检测方面具有很大的优势：

碳材料分析模式：智能分析软件中的Carbon Analysis Model可以自动搜索峰，进行峰形拟合，进而计算出碳材料的拉曼峰特征信息。

1类激光：金刚石材料的拉曼检测多采用532nm激发，有时也需要785nm激光激发。 Cora5001可以达到1类激光的安全性能。

自动对焦：Cora5001（Direct）样品室配备自动对焦调节样品台，可根据仪器自带的对焦算法轻松实现对焦，让拉曼测试变得简单方便。

双波长选项：金刚石家族的拉曼光谱与入射激光的波长密切相关。 如果多选择一个波长，则可能得到不同的信息，这就为信息互补提供了必要条件。 “双波长拉曼”为每个波长配备了独立的光谱系统，只需按一下按钮即可轻松从一个波长切换到另一个波长，无需额外调整样品。

件。 “双波长拉曼”为每个波长配备了独立的光谱系统，只需按一下按钮即可轻松从一个波长切换到另一个波长，无需额外调整样品。