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半导体厂气密性测试（保压测试）标准操作规程

一：

在半导体厂中，所谓气体管路的Hook-up（管道连接）是指Buck Gas（一般气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、 PAR、​​H2 等）。 Take Off点从出口点到子主管线（Sub-Main Piping）通过主管道（Main Piping）称为一次分配（SP1 Hook-up）从Take Off出口点到机器（Tool ) 或设备 (Equipment) 的入口点称为辅助配置 (SP2 Hook-up)。 对于Specialty Gas（特种气体如：腐蚀性、有毒、易燃、加热气体等），供气源为气柜（Gas Cabinet）。 从G/C出口点到VMB（Valve Mainfold Box）或VMP（Valve Mainfold Panel）的初级入口点，称为初级配置（SP1 Hook-up），由VMB或次级侧（Secondary）控制) 退出点的VMP Stick 到机器的入口点称为二次分配(SP2Hook-up)。

半导体工艺气体输送系统 特种气体管道系统

2：气密性试验的方法、目的及记录方式

1、气密性试验是在燃气管路中注入高于各试验管道正常工作压力1.1倍压力的气体，然后观察安装的压力表，判断是否有气体泄漏。 在气密试验中，如果任何管路有漏气现象，则必须进行检漏步骤。 一般来说，管道中的泄漏检测是使用Snoop（Liquid Leak Detector）对泄漏管道的所有接头进行泡沫测试（Foaming Testing），其可检测的泄漏率为1x10-4 atmcc/sec。 但必须要注意的是，当压力表上有明显变化时，泄漏率已经达到1x10-4 atm cc/sec的标准以上，所以使用Snoop检测泄漏是相当可靠的。

2、目的：气密试验的目的是检测管路是否有漏气现象，但值得注意的是，气密试验是向管路内充入高压气体，并保持管路内压力相同许久。 时间，就特种气体管道而言，甚至充满了正常工作压力的数倍，几乎所有业主都要求保压24小时，这与氦气检漏自然不同，因为氦气检漏采用真空试管，管道压力只有一个大气压压力表阀门执行标准，时间短。 如果连接点或焊道有缺陷，则很可能通过泄漏测试。 但是，在高压下长时间保持原状而不被打破，自然是不可能的。 因此，管道检漏不能只做氦气检漏而省略正压气密试验，气密试验绝对可靠。

3、记录仪方式：气密试验的记录仪必须采用读数压力表进行数据记录。 我们使用的录音机分为传统的机械转盘录音机（如图2）和电子录音机（如图3）。 电子记录式是利用电子数字式压力传感器（Transducer），将模拟（Analog）讯号传输至电子记录器。 无论采用何种记录方式，压力读数都能如实反映在记录纸上，全程记录下来。 严密试验的压力是恒定的还是变化的。

半导体生产

三：前期工作

1、首先充分了解并确认系统管路进行保压测试，找到PN2气源。 在 Sub-Main Pipng 或其他 PN2 管道上，找到离测试入口阀最近的最合适的阀门来做。 用于气源阀。

2. 准备一段合适长度的1/4″Teflon Hose和接头作为引气源与Rocorder的连接管路，以及一根带接头的SUS管作为Rocorder和待测系统之间的气源管。

3、如果使用传统记录仪，记录仪的压力范围（如0~10Kg/cm2，或0~15Kg/cm2）应与记录纸的压力范围完全一致。

4、准备好检漏液相应规格的开口扳手、活动扳手和拆装各接头用的宽纸带，并准备好高度合适的人字梯，供高位接头连接时使用。 如果系统处于光线不足的暗处或肉眼难以观察接头、焊缝、阀门等处，应准备手电筒和镜子。

4：使用传统记录仪密闭测试程序

1.选择合适的地方放置记录仪。 所谓合适的地方是指便于人员操作和观察的地方，不会有振动和外力碰撞的危险。

2、打开待测系统上的所有阀门和调压阀，使其全开，并记录所有阀门的原始状态，作为测试完成后所有恢复的依据。

3、如果测试系统包括盖板VMB（VMP）或系统上有调节器或止回阀，一定要将记录仪放在初级侧，即调节器或止回阀侧。 上游（Upstream），塞住二次侧的末端（Cap或Plug），即调压阀或止回阀的下游（Downstream）。

4. Bulk Gas方面，SP2管路系统的保压是针对同一台机器或设备，或者如果不是同一台机器但Take Off点相同，相关管路可以并联，共用一台压力维护记录仪。 对于特种气体，SP1 或 SP2 系统可以并联连接以保持压力。 并联管线的数量视现场实际情况而定。 并联连接的最大数量取决于所有者的规格。

5. 将所有待测管道的末端分别塞好。 如果单独测试VMB或VMP，也视为并联。 将记录器连接到主管的入口点，并分别插入所有棒的出口点。

6、将需要并联的保压系统管路并联后，将总管与记录仪连接，VMB（VMP）和单管路气源入口点直接与记录仪连接。

7. 将Take Off 点（或气源点）与记录仪相连，以获得用于压力维持的充气源。

8、打开记录仪的盖子，检查记录仪的压力记录针是否完全悬空，如果没有，拉起记录仪的升降杆，使其悬空。

9、检查记录仪中轴上固定记录纸的簧片是否已经抬到中位，如果没有，将其拉到中位。

10、用发条扳手拧紧发条，扳手回到固定位置。

11、双手将记录纸平放，将纸的中心孔对准记录仪的中心轴平稳地放在记录仪盘上，小心地将外圆放入记录仪外围的固定舌中磁盘。

12、检查绘图针是否有橡胶保护套。 如有，将其拉出放在固定位置，然后轻轻放下绘图针，使针头微悬并离记录纸约2mm，观察记录针是否在记录纸上回零。记录纸位，观察压力表是否回零。

13、打开记录仪上通向测试系统的出口阀门，关闭进气阀门，慢慢打开Take Off点（或其他气源点）的气源阀门，再慢慢打开记录仪上的气源阀门使气体充气压力进入被测系统，观察并调整压力，使压力表的压力处于业主设定的规格值，然后关闭记录仪的进气阀。

14、首先观察压力表压力是否迅速下降。 如有，检查系统管路末端是否有未堵处或堵头未锁紧或管路配错。 如果没有，请检查每个接头。

15、如果压力表指针没有变化，用压力记录仪上的阀门将压力完全释放，观察记录仪指针和压力表能否回零。 如果降为零，则表示没有问题。

16.重新加压关闭记录仪入口阀，用Snoop检漏液对从记录仪到测试系统末端的所有接头、阀门、焊缝做泡沫测试。 漏气后等待15分钟，然后仔细观察是否漏气。 复杂庞大的管道系统的泄漏检测必须系统地计划和执行，并且要更加关注是否存在微泄漏。

17、如发现漏气，应进行止漏处理，然后补充或重新充入规定压力，继续检查是否漏气，直至完全不漏气为止，最后检查充气压力和保压情况。

18、最后一次补气或加压后至少要再加压10分钟，管内气体分子趋于稳定后，关闭Take off点的气源阀门，拆下两端的Teflon Hose的录音机。 连接器。

19. 左手按住录音机木箱，右手拍打录音机周围的纸，然后用宽纸带将录音机箱框（仅限两边）和地面对半粘贴，以加固安置。

20、旋转记录纸，使其处于正确的记录开始时间，按下将记录纸固定在中轴上的簧片，将记录纸压紧，然后放下记录针，使其完全置于记录纸，同时记录开始时输入压力、温度、日期和时间，开始保压测试记录。

21. 轻轻放下记录盒的盖子，并在压力记录过程中标记“请勿触摸”等注意事项。

22、让测试管道继续密闭加压。 记录仪继续连续记录，直到业主要求的整个时间结束，观察过程中压力和温度的变化是否应记录。 如发现中途漏气，应立即拉起。 在记录纸上画针，回到测试过程的原点，再次检查是否漏气。 完成后，上紧主发条，更新记录纸，进行新的保压行程。 将相关动作和程序与原程序进行比较。

23、在规定的压力和规定的保压时间下，管道上的压力在整个过程中不得出现下降，即压力记录仪上读数的压力值从试压开始到现在都不能改变。完成测试的时间。 ，如果测试开始时的压力和测试结束时的压力（在业主指定的整个时间之后）不能完全一致，并且测试开始时的室温与室温不同试验结束时，用下式修正温度系数 确定试验压力是否能在上述条件下（有室内温差）试验完成时，记录仪上读数能保持大于为一开始记录的值的98%压力表阀门执行标准，那么这个测试值就被认为是Passed the test。

P1：开始压力 P2：结束压力 T1：开始温度 T2：结束温度

Pa: P1+atm Pb: P2+atm Ta: oK+T1 Tb: oK+T2

atm：标准大气压 oK：绝对温度

半导体制程生产

24、如果试验失败，必须返回原点检查是否漏气，并重复整个保压试验过程。

25. 如果测试通过，则测试完成。 此时，将记录针上拉，使其完全悬空，套上胶套，上拉中心轴，使簧片处于中立位置，小心地将记录纸移出，在记录纸上记录： ID（试件代码）：

开始：日期（月.日.公元年）。

TIME：xx（小时·分钟）

压力：xx Kg/cm2

停止： 日期：xxx 时间：xx 压力：xx Kg/cm2

测试者：MIC xxx 批准者：xxx

26. 打开记录仪上的阀门，完全释放管路压力。

27、拆卸不锈钢气源连接管，恢复所有状态，完成整个测试过程。

半导体工艺设备专用气体管道

吴：注意事项

1、拆装接头时务必使用合适尺寸和规格的开口扳手。 扳手不得有缺陷或损坏。 使用活动扳手时，也必须调整到合适的开口。 必须共用两把扳手，一把固定，一把用力。 在拧紧用力和试图松开锁紧状态时，两个扳手之间的开度也必须适当。 用一只手掌同时按压两个扳手，另一只手掌辅助用力。 用力要适中。

2、连接接头时，注意公母牙是否完全对齐。 先用手指旋转，再用扳手拧紧。

3、高空作业（两米以上）要注意安全。 使用扳手时，请站稳。 如果使用开口过大的扳手，很容易打滑，甚至会导致人跌落。

4、注意气源压力。 如果气源的压力远大于压力表和记录仪的测试范围，就会造成压力表和记录仪的损坏。

5、开启气源阀时，应缓慢开启。 如果因开度过大导致压力瞬间升高，会损坏记录仪和压力表。

6、进行保压试验时，一定要确保记录仪通向试验管路的阀门是打开的，否则说明没有进行气密试验。

7、使用Snoop时，应先将导管内的空气挤出，这样挤出Snoop液体时才不会出现泡沫。

8、如果是VCR接头，应从检漏孔挤入Snoop液； 如果是SWG连接器，在螺母上喷上Snoop液

检查背面和管子之间的间隙。

9、不要用手移动记录杆，以免出错甚至损坏记录的压力。

10. 用于试验的铁氟龙软管和不锈钢管接头应用橡胶（或不锈钢）帽密封并放入塑料袋中以防止污染。

11、应考虑定期使用标准压力表来验证记录仪压力指针所指示压力的正确性（Validation）。